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本文標題:"電鏡的分辨率和放大倍率試樣分析便攜顯微鏡"

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電鏡的分辨率和放大倍率試樣分析便攜顯微鏡

 
 
以調制顯相管的亮度,由于顯相
    管中的電子束與鏡簡(jiǎn)中的電子束是同步掃描的,顯相管亮度是
    由試樣激發(fā)出來(lái)的電子信息強度調制的,因此在試樣表面上任
    一點(diǎn)所收集的信息強度與顯相管屏上相應點(diǎn)的亮度之間是一一
    對應的,由此,試樣狀態(tài)不同,相應的亮度也不同,可見(jiàn)得到
    的象一定是試樣狀態(tài)的反映。設置試樣旁的波譜儀和能譜儀,   
    是用來(lái)收集特征X射線(xiàn)以實(shí)現試樣微區成份的定性及定量分析。  
 
 
    逐點(diǎn)記錄的,因此,試樣各點(diǎn)所激發(fā)出來(lái)的各種信息都可選錄   
    出來(lái),并同時(shí)在顯相管上或X—Y記錄儀上顯示記錄下來(lái),給試
    樣的綜合分析帶來(lái)極大的方便。
 
掃描電鏡的分辨率和放大倍率
    掃描電鏡的分辨率有兩種意義,對微區成份分析而言,它
    是指能分析的最小區域。對成象而言,它是指能分辨兩點(diǎn)間最
    小的距離,這兩者主要決定于入射電子束直徑,但并不直接等
    于直徑,因為入射電子束與試樣相互作用,會(huì )使入射電子束在
    試樣內的有效激發(fā)范圍大大超過(guò)入射電子束的直徑,從前圖
    2—29可知,入射電子束在透過(guò)試樣被散射或吸收之前,將在試
    樣表面下層范圍內運動(dòng),并激發(fā)出各種信息,這些信息的能量, 
    穿透能力都各不相同。只有在一定深度,一定能量的電子才能
    逸出表面,才會(huì )被檢測到,例如二次電子在入射電子束轟擊
    下,只有表層下5—50埃厚度范圍內的二次電子才能逸出表
    面。在這樣深度范圍內,電子基本上還是按入射方向前進(jìn)的,
    所以二次電子發(fā)射的廣度與入射電子束直徑相差無(wú)幾,故分辨
    率高。一般用于觀(guān)察表面微形貌和微細結構以及斷口面
 

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